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TMC潔凈室試驗臺

簡要描述:TMC潔凈室試驗臺,全不銹鋼TMC ClassOne™工作站是一款高性能氣動隔振工作臺,設計安裝在地面上,可實現*大的潔凈室兼容性。隔振性能由相同的Gimbal Piston™元件提供,它還可為光學平臺、電子顯微鏡、精密天平和掃描隧道顯微鏡提供*與倫比的隔振性能。

  • 產品型號:63-635
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-05-22
  • 訪  問  量:697
詳細介紹

TMC潔凈室試驗臺63-635

全不銹鋼TMC ClassOne™工作站是一款高性能氣動隔振工作臺,設計安裝在地面上,可實現最大的潔凈室兼容性。隔振性能由相同的Gimbal Piston™元件提供,它還可為光學平臺、電子顯微鏡、精密天平和掃描隧道顯微鏡提供*與倫比的隔振性能。

TMC潔凈室試驗臺63-635 

ClassOne工作站用潤濕酒精的無絨布進行了擦拭,并在出廠前用塑料進行雙層包裹。

TMC潔凈室試驗臺 

Gimbal Piston隔振器

所有CleanBench工作臺均采用TMC的Gimbal Piston空氣隔振器作為標準配置。在并排測試中,Gimbal Piston的性能一直優(yōu)于其他空氣隔振器。它在所有軸上都有出色的低頻隔振性能,即使在極低的輸入激勵水平下也能保持其性能規(guī)格。專有的減振技術使Gimbal Piston能夠穩(wěn)定上重下輕的有效載荷,并能迅速消除隔振臺面的干擾。

TMC潔凈室試驗臺 

優(yōu)點

2 Hz開始的垂直和水平隔振

10 Hz時振動減少95%以上

幾乎無摩擦,避免了滾動摩擦向靜摩擦過渡

通過充當萬向節(jié)來調整水平位移

即使是*低輸入水平,Gimbal Piston®空氣隔振器也可在各個方向上提供出色的隔振性能。它具有輕微的阻尼特性,對典型的低振幅環(huán)境地面振動具有高響應性,而對于嚴重的瞬態(tài)干擾(例如突然的負載變化或頂板撞擊),它可實現非常好的減振效果。結果表明,Gimbal Piston隔振器可提供*越的隔振效果,幾乎可以在幾秒鐘內消除任何嚴重干擾。它還可以穩(wěn)定具有相對較高重心的隔振系統,而不會影響隔振效果。

 

低振幅輸入響應

TMC潔凈室試驗臺 

在設計有效的隔振器時,所遇到的最大挑戰(zhàn)是在周圍建筑地面振動的典型低振動幅度輸入下保持良好性能。隔振器規(guī)格通常基于將隔振器放置在振幅輸入水平非常高的“振動臺"上進行的測量。這種輸入振幅約為毫米的測試會導致對性能的估計不切實際,并且具有誤導性,因為結果不能反映實際使用中的性能。

 

Gimbal Piston隔振器設計的*特之處在于即使在最安靜、真實的地面環(huán)境中也能保持其規(guī)定的共振頻率和高水平的衰減量。這種性能與如此低的振幅成線性關系,因為設計幾乎沒有摩擦,因此能夠避免滾動摩擦到靜摩擦過渡。

 

我們在典型的地面振動水平下測試的所有其他系統要么比聲稱的共振頻率高,要么通過隔振器支架的傳輸大幅增加。

 

我們強調性能規(guī)格在低輸入水平的重要性,因為我們在自己的測試和許多使用過的設備中反復觀察到,在更大的振幅和更高的頻率下更容易實現更好的性能。

TMC潔凈室試驗臺 

水平與垂直輸入

我們創(chuàng)新的隔振器可以充當萬向節(jié),使薄壁滾動密封膜片能夠適應水平位移。Gimbal Piston隔振器未使用電纜式鐘擺懸架,而是將載荷放在一個單獨的頂板上,該頂板上有一根向下伸入到主活塞井內的剛性桿。桿的底部有一個支撐在堅硬、平坦底座上的球形端部。由于球在底座上非常輕微地搖動(無滑動或滾動),因此,固有的柔性聯軸器可在隔振器中水平彎曲。即使輸入位移在微英寸以下水平,該方法也非常有效,因為靜摩擦幾乎與滾動摩擦相同。水平運動只是轉換為通常的垂直膜片彎曲,但同相:活塞的一側向上,另一側向下,以萬向節(jié)式運動。

TMC潔凈室試驗臺 

其他類型隔振器的局限性

厚壁橡膠膜片。大多數商用隔振器在活塞中采用廉價的厚壁橡膠膜片來實現垂直隔振。由于這些元件的相對靈活性,低振幅隔振性能不太理想。雖然這種系統用手感覺起來較“柔軟",但對于典型的低水平地面振動,橡膠更像是一個剛性聯軸器而并非柔性隔振器。

 

密封氣動隔振器(被動)。密封空氣隔振器不會自動根據負載變化進行調整。這種系統的主要局限性在于,它們太硬而不能有效地隔振。例如,一個真正1.5 Hz共振頻率的被動隔振器在負載、溫度或壓力發(fā)生微小變化時會垂直漂移幾英寸,并且需要不斷的手動調整。因此,實際密封隔振器并沒有這一設計的低共振頻率。

 

軸承滑板。 理論上,軸承滑板可通過其解耦效應實現水平隔振。實際上,如果要讓這種設計在低振幅下工作,就需要公差很小、經過精密磨削的硬化軸承。現有的商用版本不能克服低振幅下的靜摩擦力以使軸承滾動。此外,所有這些系統最初都很難對齊,并且很容易偏離校準范圍。

 

自制組裝。 自制隔振系統 - 通常是放置在橡膠墊、網球或氣囊上的鋼板或花崗巖板 - 只有在干擾振動頻率高且需要最小隔振的情況下才能工作。雖然所有隔振器都使用在阻尼彈簧上放置質量的原理,但它們的性能主要通過彈簧剛度來區(qū)分:彈簧越硬,共振頻率越高。因此,自制解決方案受到其高共振頻率的限制。

 

具有1.5 Hz垂直共振頻率的Gimbal Piston™隔振器在2 Hz時開始隔振,并可在10 Hz時將振動降低95%以上。具有7 Hz共振頻率的鋼板下的網球在10 Hz以上開始隔振并在30 Hz時將振動減小90%。但是大多數建筑物地面在5到30 Hz之間表現出最高的振動位移,因此網球或橡膠墊通過放大5到10 Hz之間的環(huán)境頻率實際上會使問題變得更加嚴重。

TMC潔凈室試驗臺 

規(guī)格

 

Isolator natural frequency:

High Input

 

Low Input

 

Vertical=1.2Hz

Horizontal=1.0Hz

Vertical=1.5-2.0Hz

Horizontal=1.2-1.7Hz

Isolation effciency@5Hz

Vertical=70-85%

Horizontal=75-90%

Isolation effciency@10Hz

Vertical=90-97%

Horizontal=90-97%

Recommended payload

350lb(160kg)

Finish

Electropolished stainless steel frame,passivated or electropolished stainless steel top

Facilities required

80 psi nitrogen or air

 

TMC潔凈室試驗臺 

訂購表

Gimbal Piston隔振的ClassOne工作站

工作臺尺寸(深 x 長)

鈍化不銹鋼頂部

電拋光不銹鋼頂部 

750 x 875毫米

29.5 x 34.5英寸

63-631

63-635

750 x 1175毫米

29.5 x 46.3英寸

63-641

63-645

900 x 1175毫米

35.4 x 46.3英寸

63-661

63-665

900 x 1500毫米

35.4 x 59.0英寸

63-671

63-675

 

配件 - 所有工作臺尺寸

可伸縮腳輪(一套四個)

83-015-01

 

配件 - 取決于尺寸

工作臺尺寸

(深 x 長)

滑動擱板 - 250毫米(1英寸)

圖案:10毫米(0.4英寸)

孔在25毫米(1英寸)中心

后支撐桿和安裝夾具1 

750 x 875毫米

29.5 x 34.5英寸

81-312-06

81-302-05

750 x 1175毫米

29.5 x 46.3英寸

81-312-06

81-302-06

900 x 1175毫米

35.4 x 46.3英寸

81-312-07

81-302-06

900 x 1500毫米

35.4 x 59.0英寸

81-312-07

81-302-07

*定擱板時需要


 


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